由捷克TESCANTESCAN公司生产制造，型号为VEGA 3 XMU，包括自动稳压变压器、空气压缩机、电制冷能谱仪（EDS）、喷金仪、控制及图像处理软件系统，仪器二次电子探测器分辨率在30kV时小于3nm，在3kV时小于8nm，背散射电子探测器分辨率在30kV小于3.5nm；放大倍率为1-1000000倍。主要用于对煤岩介质等各类样品表面微区形貌观察和成份含量分析。